三豐MITUTOYO三坐標(biāo)測(cè)量0.00001mm高分辨率

超高精度數(shù)控坐標(biāo)測(cè)量機(jī) LEGEX

最小顯示尺寸（毫米）：0.00001測(cè)量范圍 X 軸 （mm） ： 500測(cè)量范圍 Y 軸 （mm） ： 700測(cè)量范圍 Z 軸 （mm） ： 450

具有高精度的超高精度數(shù)控坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

主要特點(diǎn)

• LEGEXシリーズは、誤差要因を的に分析、排除した、最高クラスの精度を誇る超高精度CNC三次元測(cè)定機(jī)です。

• 本體ベース部は、素材を厳選し、高剛性、高減衰性を?qū)g現(xiàn)するため密閉化構(gòu)造を採(cǎi)用しています。さらに、FEM構(gòu)造解析シミュレーションを用いた応力分析を的に行い、荷重変動(dòng)などによる変形を最小限にした幾何學(xué)運(yùn)動(dòng)精度を保証します。その他にも駆動(dòng)部の構(gòu)造、振動(dòng)対策など、超高精度を?qū)g現(xiàn)するため數(shù)々の技術(shù)を投入しております。

• 位置検出用の測(cè)長(zhǎng)ユニットには、熱膨張係數(shù)≒0の超高精度結(jié)晶化ガラススケールと高分解能の高性能反射形リニアエンコーダの組み合わせによる、超高精度測(cè)長(zhǎng)ユニット（自社製）が搭載され、高い位置検出能力を有し、超高精度機(jī)制御を可能にしています。

• 超高精度機(jī)の設(shè)置環(huán)境は、恒溫室クラスが必要でしたが、溫度補(bǔ)正機(jī)能により、幅広い溫度環(huán)境下での精度保証を可能にしています。

• 幅広いワークを簡(jiǎn)単かつ超高精度な測(cè)定サポートをするために、プローブ（接觸形、非接觸形）、データ処理裝置をはじめ數(shù)々のオプションをご用意しております。

規(guī)范

三豐MITUTOYO三坐標(biāo)測(cè)量0.00001mm高分辨率