● 非接觸、非破壞式，量測頭可自由集成在客戶系統(tǒng)內(nèi)

● 初學者也能輕松解析建模的初學者解析模式

● 高精度、高再現(xiàn)性量測紫外到近紅外波段內(nèi)的反射率，可分析多層薄膜厚度、光學常數(shù)（n：折射率、k：消光系數(shù)）

● 單點對焦加量測在1秒內(nèi)完成

● 顯微分光下廣范圍的光學系統(tǒng)（紫外 ~ 近紅外）

● 獨立測試頭對應各種inline定制化需求

● 最小對應spot約3μm

● 可針對超薄膜解析nk

量測項目

●  反射率分析

●  多層膜解析（50層）

●  光學常數(shù)（n：折射率、k：消光系數(shù)）

膜或者玻璃等透明基板樣品，受基板內(nèi)部反射的影響，無法正確測量。OPTM系列使用物鏡，可以物理去除內(nèi)部反射，即使是透明基板也可以實現(xiàn)高精度測量。此外，對具有光學異向性的膜或SiC等樣品，也可不受其影響，單獨測量上面的膜。

應用范圍

● 半導體、復合半導體：硅半導體、碳化硅半導體、砷化鎵半導體、光刻膠、介電常數(shù)材料

● FPD：LCD、TFT、OLED（有機EL）

● 資料儲存：DVD、磁頭薄膜、磁性材料

● 光學材料：濾光片、抗反射膜

● 平面顯示器：液晶顯示器、薄膜晶體管、OLED

● 薄膜：AR膜、HC膜、PET膜等

● 其它：建筑用材料、膠水、DLC等

規(guī)格式樣

（自動XY平臺型）